微機電系統(tǒng)(MEMS)架構,使得傳感器小型化和集成化,更利于實現(xiàn)傳感系統(tǒng)設計和控制。應用,在智慧工業(yè)時代應用廣泛。AEC-Q103標準規(guī)定了基于MEMS架構的壓力傳感器和麥克風器件對于車用工況的驗證要求。
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